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An Introduction to Surface-Micromachining

Robert W Johnstone, Ash Parmaswaran
Livre relié | Anglais | Information Technology: Transmission, Processing & Storage
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Description

An Introduction to Surface-Micromachining provides for the first time a unified view of surface-micromachining. Building up from the basic building block of microfabrication techniques, to the general surface-micromachining design, it will finish with the theory and design of concrete components. An Introduction to Surface-Micromachining connects the manufacturing process, microscale phenomena, and design data to physical form and function.
This book will be of interest to mechanical engineers looking to scale down into micromachining and microelectronics designers looking to move horizontally to micromachining.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Robert W JohnstoneAsh Parmaswaran
Editeur:
Springer

Contenu

Nombre de pages :
189
Langue:
Anglais
Collection :
Information Technology: Transmission, Processing & Storage

Caractéristiques

EAN:
9781402080203
Date de parution :
03-06-04
Format:
Livre relié
Format numérique:
Genaaid
Dimensions :
160 mm x 242 mm
Poids :
489 g
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