Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb | Jochen Vieker | Technique | 9783863598594 | Librairie Club

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Description

Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :

Editeur:

Contenu

Nombre de pages :: 146

Langue:: Allemand

Collection :

Caractéristiques

EAN:: 9783863598594

Format:: Livre broché

Dimensions :: 148 mm x 210 mm

Poids :: 283 g

Seulement chez Librairie Club

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