Description

Das Einsatzspektrum moderner Festkörper- und Faserlaser kann durch die Erzeugung prozessangepasster Leistungsdichteverteilungen wesentlich erweitert werden. In der vorliegenden Arbeit werden Verfahren zur Anpassung hochmodiger Ausgangsverteilungen untersucht. Die diskutierten Ansätze ermöglichen die Homogenisierung von Leistungsdichteverteilungen und die Erzeugung von Verteilungen mit großen Aspektverhältnissen. Für die Anwendungsbereiche Maskenbelichtung und Entschichten mittels Laserstrahlung werden umgesetzte Systeme vorgestellt.

Spécifications