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Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology

David C Cox
Livre relié | Anglais | Iop Concise Physics
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Description

This book describes modern focused ion beam microscopes and techniques and how they can be used to aid materials metrology and as tools for the fabrication of devices that in turn are used in many other aspects of fundamental metrology.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
104
Langue:
Anglais
Collection :

Caractéristiques

EAN:
9781643278469
Date de parution :
01-10-15
Format:
Livre relié
Format numérique:
Genaaid
Dimensions :
178 mm x 254 mm
Poids :
367 g
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