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Format
Description
Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 263
- Langue:
- Anglais
Caractéristiques
- EAN:
- 9783642062599
- Date de parution :
- 12-02-10
- Format:
- Livre broché
- Format numérique:
- Trade paperback (VS)
- Dimensions :
- 156 mm x 234 mm
- Poids :
- 394 g
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