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Lpcvd Silicon Nitride and Oxynitride Films
Material and Applications in Integrated Circuit Technology
53,45 €
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Description
This volume, based on work done in an ESPRIT project, gives a broad overview of the chemical and physical characteristics of silicon oxynitrides, emphasizing how they influence the electrical behavior of this material, which is important for integrated circuit technology.
Spécifications
Parties prenantes
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 159
- Langue:
- Anglais
- Collection :
- Tome:
- n° 1
Caractéristiques
- EAN:
- 9783540539544
- Date de parution :
- 28-05-91
- Format:
- Livre broché
- Format numérique:
- Trade paperback (VS)
- Dimensions :
- 170 mm x 244 mm
- Poids :
- 281 g
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