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Mechanical Properties of Silicon Based Compounds: Silicides
Joshua Pelleg
108,45 €
+ 216 points
Format
Description
This book focuses on the mechanical properties of silicides for very large scale integration (VLSI) applications. It presents the fabrication process for bulk silicides and thin films, and list complete testing deformation for a variety of silicon based compounds. A special chapter is given on deformation in silicides in the nano scale.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 274
- Langue:
- Anglais
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9783030225971
- Date de parution :
- 30-07-19
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 156 mm x 234 mm
- Poids :
- 585 g
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