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Mechanische Eigenschaften von Halbleiterrollen
Bestimmung der mechanischen Eigenschwingungsfrequenzen in einer zylindrischen Halbleiterheterostrukturrolle
Antje Buchholz
Livre broché | Allemand
54,45 €
+ 108 points
Description
Herstellung der zylindrischen Rolle aus verspannten Halbleiterheterostrukturen mit einem genau auf den zur Verfügung gestellten Wafer abgestimmten Ätzverfahren, sowie optische Untersuchung der Mikrorollen und Katalogisierung. Übertragung der Schwingungen eines Piezokristalls auf die Mikrorollen und Schwingungsmessungen mit Hilfe eines Michelson Interferometers. Ermittlung der Eigenschwingungen der Mikrorollen durch Vergleich von Messungen auf den Rollen und auf dem Substrat. Diskussion des Ätzvorganges und des Aufrollprozesses anhand des verwendeten Messobjektes. Diskussion der Schwingungsmoden in Luft und im Vakuum an einer langen und einer kurzen Mikrorolle. Vergleich der theoretischen Berechnungen des Kooperationspartners mit den experimentellen Ergebnissen der Schwingungsmodenfrequenzen. Schlussfolgerungen über die Abhängigkeit von Eigenschwingungen und Radius bzw. Länge der zylindrischen Halbleiterobjekte.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 96
- Langue:
- Allemand
Caractéristiques
- EAN:
- 9783639629583
- Date de parution :
- 25-08-14
- Format:
- Livre broché
- Dimensions :
- 150 mm x 220 mm
- Poids :
- 150 g
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