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Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Ulrich Hilleringmann
Livre broché | Allemand
37,95 €
+ 75 points
Description
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 274
- Langue:
- Allemand
Caractéristiques
- EAN:
- 9783835100039
- Date de parution :
- 25-04-06
- Format:
- Livre broché
- Format numérique:
- Trade paperback (VS)
- Dimensions :
- 148 mm x 210 mm
- Poids :
- 381 g
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