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Nanolithography

A Borderland Between Stm, Eb, Ib, and X-Ray Lithographies

Livre relié | Anglais | NATO Science Series E: | n° 264
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Description

Success in the fabrication of structures at the nanometer length scale has opened up a new horizon to condensed matter physics: the study of quantum phenomena in confined boxes, wires, rings, etc. A new class of electronic devices based on this physics has been proposed, with the promise of a new functionality for ultrafast and/or ultradense electronic circuits. Such applications demand highly sophisticated fabrication techniques, the crucial one being lithography.
Nanolithography contains updated reviews by major experts on the well established techniques -- electron beam lithography (EBL), X-ray lithography (XRL), ion beam lithography (IBL) -- as well as on emergent techniques, such as scanning tunnelling lithography (STL).

Spécifications

Parties prenantes

Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
216
Langue:
Anglais
Collection :
Tome:
n° 264

Caractéristiques

EAN:
9780792327943
Date de parution :
30-04-94
Format:
Livre relié
Format numérique:
Genaaid
Dimensions :
156 mm x 234 mm
Poids :
503 g
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