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Plasma Processing of Semiconductors
503,95 €
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Description
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications.
Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
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Spécifications
Parties prenantes
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 613
- Langue:
- Anglais
- Collection :
- Tome:
- n° 336
Caractéristiques
- EAN:
- 9780792345671
- Date de parution :
- 31-05-97
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 157 mm x 240 mm
- Poids :
- 1079 g
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