Plasma Processing of Semiconductors | | Technologie mécanique & Matériaux | 9780792345671 | Librairie Club

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Description

Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications.
Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.

Spécifications

Parties prenantes

Editeur:

Contenu

Nombre de pages :: 613

Langue:: Anglais

Collection :

Tome:: n° 336

Caractéristiques

EAN:: 9780792345671

Date de parution :: 31-05-97

Format:: Livre relié

Format numérique:: Genaaid

Dimensions :: 157 mm x 240 mm

Poids :: 1079 g

Seulement chez Librairie Club

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