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Poly-Sige for Mems-Above-CMOS Sensors

Pilar Gonzalez Ruiz, Kristin De Meyer, Ann Witvrouw
Livre broché | Anglais | Advanced Microelectronics | n° 44
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Format
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Description

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 m Cu-backend CMOS.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Pilar Gonzalez RuizKristin De MeyerAnn Witvrouw
Editeur:
Springer

Contenu

Nombre de pages :
199
Langue:
Anglais
Collection :
Advanced Microelectronics
Tome:
n° 44

Caractéristiques

EAN:
9789401781404
Date de parution :
08-08-15
Format:
Livre broché
Format numérique:
Trade paperback (VS)
Dimensions :
156 mm x 234 mm
Poids :
308 g
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