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Principles of Lithography

Harry J. Levinson
Livre relié | Press Monographs
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Description

This newest edition of Principles of Lithography reflects the continuing advancement of lithographic technology. In recent years, certain topics, such as line-edge roughness (LER), multi-electron-beam writers, have become more significant to practicing lithographers. As such extensive treatments of these topics are provided.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Harry J. Levinson
Editeur:
SPIE Press

Contenu

Nombre de pages :
630
Collection :
Press Monographs

Caractéristiques

EAN:
9781510627604
Date de parution :
30-07-19
Format:
Livre relié
Dimensions :
262 mm x 185 mm
Poids :
1422 g
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