Rapid Thermal Processing of Semiconductors | Victor E Borisenko, Peter J Hesketh | Technologie mécanique & Matériaux | 9781489918062 | Librairie Club

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Description

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :

Editeur:

Contenu

Nombre de pages :: 358

Langue:: Anglais

Collection :

Caractéristiques

EAN:: 9781489918062

Date de parution :: 20-06-13

Format:: Livre broché

Format numérique:: Trade paperback (VS)

Dimensions :: 156 mm x 234 mm

Poids :: 535 g

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