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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography
185,95 €
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Description
Optical lithography for integrated circuits is undergoing a renaissance with the adoption of Resolution Enhancement Technology (RET). Some RET concepts have become routine in manufacturing. This volume gathers together seminal RET papers.
Spécifications
Parties prenantes
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 900
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780819451668
- Date de parution :
- 13-04-04
- Format:
- Livre relié
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