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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography v. TT47
Alfred Kwok-Kit Wong
85,45 €
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Description
The acceleration of integrated circuit miniaturization is challenging lithographers to push the limits of optical lithography by ever more precise engineering and innovations. This work summarizes the latest enhancement research that has matured since the 1980s.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 214
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780819439956
- Date de parution :
- 01-03-01
- Format:
- Livre broché
- Poids :
- 505 g
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