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Resonant Network Antennas for Radio-Frequency Plasma Sources

Theory, technology and applications

Philippe Guittienne, Alan Howling, Ivo Furno
Livre relié | Anglais | IOP ebooks
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Description

Resonant network antennas can overcome the limitations of conventional RF plasma sources. Their intense currents at resonance are well suited for inductive coupling in novel reactor configurations. This reference text explains the complete theory of resonant antennas, from fundamental circuits to mutual partial inductance coupling with plasma, and helicon wave theory.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
501
Langue:
Anglais
Collection :

Caractéristiques

EAN:
9780750352949
Date de parution :
20-07-24
Format:
Livre relié
Format numérique:
Genaaid
Dimensions :
178 mm x 254 mm
Poids :
1079 g
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