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Silicon Semiconductor Technology
Processing and Integration of Microelectronic Devices
Ulrich Hilleringmann
Livre broché | Anglais
70,45 €
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Description
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 264
- Langue:
- Anglais
Caractéristiques
- EAN:
- 9783658410407
- Date de parution :
- 03-08-23
- Format:
- Livre broché
- Dimensions :
- 168 mm x 12 mm
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