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Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry
A User's Guide
Harland G Tompkins, William A McGahan
Livre relié | Anglais
274,45 €
+ 548 points
Description
While single wave ellipsometry has been around for years, spectroscopic ellipsometry is fast becoming the method of choice for measuring the thickness and optical properties of thin films. This book provides the first practical introduction to spectroscopic ellipsometry and the related techniques of reflectometry.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 248
- Langue:
- Anglais
Caractéristiques
- EAN:
- 9780471181729
- Date de parution :
- 18-03-99
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 167 mm x 239 mm
- Poids :
- 503 g
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