Transient Properties of HiPIMS Discharges | Anurag Mishra | Astronomie, Espace & Temps | 9783639716467 | Librairie Club

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Description

HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) is a relatively new highly ionized sputtering technique used to deposit engineering quality thin films, with the advantage that the deposition flux can be guided to the substrate through the electrical biasing. As the technique is on the verge of being adopted by the industries, it is necessary to understand its physics very well so that thin films with tailored properties can be deposited. Therefore, time-resolved diagnostic studies have been carried out to get better physical insight of the HiPIMS processes. This book also provides information of lower deposition rates in HiPIMS discharge and suggests its solutions.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :

Editeur:

Contenu

Nombre de pages :: 212

Langue:: Anglais

Caractéristiques

EAN:: 9783639716467

Date de parution :: 19-05-14

Format:: Livre broché

Dimensions :: 150 mm x 220 mm

Poids :: 299 g

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